Chemical vapor deposition growth of 2d material for electronic applications (2021)
- Authors:
- Autor USP: BRAGA, PEDRO COSTA - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PMT
- Assunto: TRANSISTORES
- Language: Inglês
- Abstract: Esta disserta¸c˜ao discute a fabrica¸c˜ao de um transistor MoS2 desde o processo de deposi¸c˜ao CVD at´e a deposi¸c˜ao dos contatos met´alicos, passando por diversas t´ecnicas de caracteriza¸c˜ao de materiais como AFM, PL, EDX, SEM, Raman e m´etodos de caracteriza¸c˜ao de transistores como as curvas de ”Sa´ıda” e ”Transferˆencia”. Parte da novidade deste trabalho ´e a utiliza¸c˜ao de um sistema de ”showerhead” para crescimento. Al´em da descri¸c˜ao detalhada das t´ecnicas de fabrica¸c˜ao e caracteriza¸c˜ao utilizadas, este trabalho tamb´em apresenta resultados de crescimento e caracteriza¸c˜ao el´etrica deMoS2 monocamada, assim como discuss˜oes sobre Excitons, propriedades gerais de MoS2, CVD, Caracteriza¸c˜ao Eletrˆonica e Material.
- Imprenta:
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ABNT
BRAGA, Pedro Costa. Chemical vapor deposition growth of 2d material for electronic applications. 2021. Trabalho de Conclusão de Curso (Graduação) – Escola Politécnica, Universidade de São Paulo, São Paulo, 2021. Disponível em: https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/35f2ee16-c18d-40fd-9f43-4a68ae85b196/PedroCostaBraga%20TF-21.pdf. Acesso em: 27 mar. 2025. -
APA
Braga, P. C. (2021). Chemical vapor deposition growth of 2d material for electronic applications (Trabalho de Conclusão de Curso (Graduação). Escola Politécnica, Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/35f2ee16-c18d-40fd-9f43-4a68ae85b196/PedroCostaBraga%20TF-21.pdf -
NLM
Braga PC. Chemical vapor deposition growth of 2d material for electronic applications [Internet]. 2021 ;[citado 2025 mar. 27 ] Available from: https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/35f2ee16-c18d-40fd-9f43-4a68ae85b196/PedroCostaBraga%20TF-21.pdf -
Vancouver
Braga PC. Chemical vapor deposition growth of 2d material for electronic applications [Internet]. 2021 ;[citado 2025 mar. 27 ] Available from: https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/35f2ee16-c18d-40fd-9f43-4a68ae85b196/PedroCostaBraga%20TF-21.pdf
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