Simulação, fabricação comando de um micromanipulador piezelétrico XY (2007)
- Authors:
- USP affiliated authors: LAMBRECHT, ARIEL - EP ; CUNHA, IGOR FELIZATTI CARNEIRO DA - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PMR
- Subjects: ATUADORES PIEZELÉTRICOS; SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS; FOTOLITOGRAFIA; CAE
- Language: Português
- Abstract: O presente trabalho visa o estudo das etapas de projeto, fabricação e controle de um MEMS (“Micro-Electro-Mechanical System”) micromanipulador piezelétrico com movimentos nos eixos X e Y. Para tanto, foram elaborados modelos computacionais do atuador com a finalidade de realizar uma análise em elementos finitos. Foi implementado um comando para o posicionador, do tipo Joystick, controlado por computador através do software Matlab®. Atuadores Piezelétricos oferecem uma solução para trabalhos de posicionamento que requerem alta acurácia, velocidade e resolução. Os movimentos resultantes da conversão de energia elétrica em energia mecânica pelo materiais piezelétricos são extremamente precisos, sendo uma característica importante para aplicações de nanoposicionamento e micromanipulação. O dispositivo consiste essencialmente em uma estrutura multiflexível atuada por duas piezocerâmicas. A estrutura multiflexível age como um transformador mecânico amplificador mudando o sentido dos deslocamentos da saída da piezocerâmica. A fabricação do dispositivos se deu utilizando o método de fotolitografia realizado por empresa especializada seguindo o projeto desenvolvido neste trabalho.
- Imprenta:
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ABNT
LAMBRECHT, Ariel e CUNHA, Igor Felizatti Carneiro da. Simulação, fabricação comando de um micromanipulador piezelétrico XY. 2007. Trabalho de Conclusão de Curso (Graduação) – Escola Politécnica, Universidade de São Paulo, São Paulo, 2007. Disponível em: https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/abb95a31-3b82-4607-b784-d7951a02b881/Ariel%20Lambrecht.pdf. Acesso em: 23 jan. 2026. -
APA
Lambrecht, A., & Cunha, I. F. C. da. (2007). Simulação, fabricação comando de um micromanipulador piezelétrico XY (Trabalho de Conclusão de Curso (Graduação). Escola Politécnica, Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/abb95a31-3b82-4607-b784-d7951a02b881/Ariel%20Lambrecht.pdf -
NLM
Lambrecht A, Cunha IFC da. Simulação, fabricação comando de um micromanipulador piezelétrico XY [Internet]. 2007 ;[citado 2026 jan. 23 ] Available from: https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/abb95a31-3b82-4607-b784-d7951a02b881/Ariel%20Lambrecht.pdf -
Vancouver
Lambrecht A, Cunha IFC da. Simulação, fabricação comando de um micromanipulador piezelétrico XY [Internet]. 2007 ;[citado 2026 jan. 23 ] Available from: https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/abb95a31-3b82-4607-b784-d7951a02b881/Ariel%20Lambrecht.pdf
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