Deposição e caracterização de filmes fino de silício hidrogenado para fins eletrônicos (1999)
- Authors:
- Autor USP: TONELLO, PEDRO MARCOS NOCETTI - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PMT
- Subjects: FILMES FINOS; SILÍCIO
- Language: Português
- Imprenta:
- Premiações recebidas: Prêmio Fabio Decourt Homem de Melo - aluno de melhor média no curso de Engenharia de Materiais 1999
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ABNT
TONELLO, Pedro Marcos Nocetti. Deposição e caracterização de filmes fino de silício hidrogenado para fins eletrônicos. 1999. Trabalho de Conclusão de Curso (Graduação) – EPUSP, São Paulo, 1999. Disponível em: https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/7169cafa-48f6-4044-910b-5f68991fa0f5/PedroMarcosNocettiTonello%20TF%20PMT.pdf. Acesso em: 18 mar. 2025. -
APA
Tonello, P. M. N. (1999). Deposição e caracterização de filmes fino de silício hidrogenado para fins eletrônicos (Trabalho de Conclusão de Curso (Graduação). EPUSP, São Paulo. Recuperado de https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/7169cafa-48f6-4044-910b-5f68991fa0f5/PedroMarcosNocettiTonello%20TF%20PMT.pdf -
NLM
Tonello PMN. Deposição e caracterização de filmes fino de silício hidrogenado para fins eletrônicos [Internet]. 1999 ;[citado 2025 mar. 18 ] Available from: https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/7169cafa-48f6-4044-910b-5f68991fa0f5/PedroMarcosNocettiTonello%20TF%20PMT.pdf -
Vancouver
Tonello PMN. Deposição e caracterização de filmes fino de silício hidrogenado para fins eletrônicos [Internet]. 1999 ;[citado 2025 mar. 18 ] Available from: https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/7169cafa-48f6-4044-910b-5f68991fa0f5/PedroMarcosNocettiTonello%20TF%20PMT.pdf
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