Simulação, fabricação e comando de MEMS eletrotermomecânicos (2003)
- Authors:
- USP affiliated authors: HONDA, FLÁVIO - EP ; NISHITANI, WAGNER SHIN - EP
- Unidade: EP
- Sigla do Departamento: PMR
- Assunto: SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
- Language: Português
- Abstract: O presente trabalho objetivou o estudo do ciclo completo de desenvolvimento de um MEMS (“Micro-Electro-Mechanical Systems”) eletrotermomecânico, incluindo a sua simulação por método dos elementos finitos e o desenvolvimento de seu sistema de comando de posicionamento, feito através de uma fonte de tensão controlada remotamente. Um MEMS é um mecanismo de acionamento elétrico que permite a manipulação de pequenos objetos, sejam eles mecânicos ou de origem biológica (células, por exemplo), possibilitando desde a teleoperação à automatização completa do funcionamento. Seus elementos mecânicos e atuadores são fabricados por meio de tecnologia de microfabricação. Em sua quase totalidade são mecanismos flexíveis, onde o movimento é dado pela flexibilidade da própria estrutura ao invés de serem usados pinos e juntas, muito difíceis de serem montados nessa escala. A atuação eletrotermomecânica é baseada na expansão térmica da estrutura resultante do calor gerado pela passagem de uma corrente elétrica. Foram feitas simulações dos MEMS eletrotermomecânicos pelo Método dos Elementos Finitos, utilizando um “software” comercial. A fabricação se deu utilizando um método de microfabricação de superfície (fotolitografia) e um comando por “joystick” foi implementado com sucesso.
- Imprenta:
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ABNT
HONDA, Flávio e NISHITANI, Shin. Simulação, fabricação e comando de MEMS eletrotermomecânicos. 2003. Trabalho de Conclusão de Curso (Graduação) – Escola Politécnica, Universidade de São Paulo, São Paulo, 2003. Disponível em: https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/74cd6c5d-4bd5-49df-a817-2bc362e78d92/Flavio%20Honda.pdf. Acesso em: 17 mar. 2025. -
APA
Honda, F., & Nishitani, S. (2003). Simulação, fabricação e comando de MEMS eletrotermomecânicos (Trabalho de Conclusão de Curso (Graduação). Escola Politécnica, Universidade de São Paulo, São Paulo. Recuperado de https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/74cd6c5d-4bd5-49df-a817-2bc362e78d92/Flavio%20Honda.pdf -
NLM
Honda F, Nishitani S. Simulação, fabricação e comando de MEMS eletrotermomecânicos [Internet]. 2003 ;[citado 2025 mar. 17 ] Available from: https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/74cd6c5d-4bd5-49df-a817-2bc362e78d92/Flavio%20Honda.pdf -
Vancouver
Honda F, Nishitani S. Simulação, fabricação e comando de MEMS eletrotermomecânicos [Internet]. 2003 ;[citado 2025 mar. 17 ] Available from: https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/74cd6c5d-4bd5-49df-a817-2bc362e78d92/Flavio%20Honda.pdf
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